Počet záznamů: 1

Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

  1. 1.
    0325114 - UPT-D 2009 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
    Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Šerý, Mojmír
    Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy.
    [Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou.]
    tm-Technisches Messen. Roč. 76, č. 5 (2009), s. 253-258 ISSN 0171-8096
    Grant CEP: GA MŠk(CZ) LC06007; GA AV ČR IAA200650504; GA AV ČR KAN311610701; GA MPO 2A-1TP1/127; GA MPO FT-TA3/133; GA MPO 2A-3TP1/113; GA ČR GA102/07/1179; GA MŠk 2C06012
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
    Klíčová slova: Interferometry * local probe microscopy * nanometrology
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Impakt faktor: 0.321, rok: 2009

    In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

    V příspěvku prezentujeme interferometrický monitorovací systém polohy pro odměřování a polohování vzorku pro mikroskopii s lokální sondou. Uspořádání je navrženo pro metrologické aplikace s přímou návazností na základní etalon délky a monitorování ve všech šesti osách volnosti. Je navrženo aktivní řízení polohy.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0172639