Počet záznamů: 1

Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály

SYSNO	0390208
Název	Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály
Překlad názvu	Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels
Tvůrce(i)	Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Lukašík, P. (CZ) Piják, A. (CZ) Dolák, J. (CZ) Martinek, P. (CZ) Pitrun, J. (CZ) Rek, Š. (CZ) Konečný, L. (CZ) Mareš, G. (CZ) Štepánek, J. (CZ) Jakeš, J. (CZ) Křenek, Z. (CZ) Joštic, M. (CZ) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Vyd. údaje	2012
Poddruh	Funkční vzorek
Int.kód	PST2/FZÚ-SVCS/2012
Technické parametry	Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Ekonomické parametry	Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
Název vlastníka	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - SVCS Process Innovation s.r.o.
Číselná identifikace	Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
Druh dok.	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0219084

Počet záznamů: 1