Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály

0390208 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M. - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán
Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály.
[Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.]
Interní kód: PST2/FZÚ-SVCS/2012 ; 2012
Technické parametry: Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Ekonomické parametry: Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech

V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou.

In frame of grant TACR, we have developed automatic control of gas flow and their mixtures in plasmatic PECVD reactor with linear structure of MW plasma jet excited with surface wave.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0219084