In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0361263
Název	In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film
Tvůrce(i)	Novotný, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID} Pokorný, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Bodnár, Michal (FZU-D)
Zdroj.dok.	Journal of Nanophotonics. Roč. 5, č. 5 (2011), "051503-1"-"051503-10". - : SPIE - International Society for Optical Engineering
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd
	IAA100100729 GA AV ČR - Akademie věd
	GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	aluminum ultrathin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0198619

Počet záznamů: 1