Počet záznamů: 1
In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film
- 1.
SYSNO 0361263 Název In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Pokorný, Petr (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bodnár, Michal (FZU-D)Zdroj.dok. Journal of Nanophotonics. Roč. 5, č. 5 (2011), "051503-1"-"051503-10". - : SPIE - International Society for Optical Engineering Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd IAA100100729 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova aluminum ultrathin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0198619
Počet záznamů: 1