Počet záznamů: 1

Comparative study of total power density at a substrate in pulsed DC magnetron and hollow-cathode plasma jet sputtering systems

SYSNO	0335019
Název	Comparative study of total power density at a substrate in pulsed DC magnetron and hollow-cathode plasma jet sputtering systems
Překlad názvu	Porovnávací studie celkové výkonové hustoty na substrát v pulzním DC magnetronovém výboji a v plazma-jetu s dutou katodou
Tvůrce(i)	Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Virostko, Petr (FZU-D) Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Plasma Processes and Polymers. Roč. 6, S1 (2009), S247-S252. - : Wiley
Konference	International Conference on Plasma Surface Engineering /11./, Garmisch Partenkirchen, 15.09.2008-19.09.2008
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd
	KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	calorimeter probe * floating substrate * magnetron * plasma jet * pulsed discharge
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0179607

Počet záznamů: 1