Počet záznamů: 1
Recovery of Waste Semiconductors for CVD Precursors.
- 1.
SYSNO ASEP 0499651 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Recovery of Waste Semiconductors for CVD Precursors. Tvůrce(i) Bumba, Jakub (UCHP-M) SAI
Dytrych, Pavel (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
Fajgar, Radek (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
Dřínek, Vladislav (UCHP-M) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Proceedings of the 6th International Conference on Chemical Technology. - Prague : Czech Society of Industrial Chemistry, 2018 / Veselý M. ; Hrdlička Z. ; Hanika J. ; Lubojacký J. - ISSN 2336-8128 - ISBN 978-80-86238-77-7 Rozsah stran s. 427-431 Poč.str. 5 s. Forma vydání Online - E Akce International Conference on Chemical Technology /6./ Datum konání 16.04.2018 - 18.04.2018 Místo konání Mikulov Země CZ - Česká republika Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova semiconductor industry ; waste photovoltaic panels ; sythesis Vědní obor RIV CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství Obor OECD Chemical process engineering CEP GA15-14228S GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora UCHP-M - RVO:67985858 UT WOS 000461293800079 Anotace The newly patented method for regeneration of ultrapure silicon and germanium via magnesium silicide and magnesium germanide from waste photovoltaic (PV) cells, broken germanium lenses and waste magnesium chips was utilized to obtain chemical vapour deposition (CVD) precursors for application in electronics, optics or nanoparticles synthesis. Magnesium silicide and germanide were prepared directly by thermal synthesis from waste materials in optimized tube reactor at 400°C and 5 Pa. X-Ray Diffraction (XRD) confirmed 97.9% respective 95% purity of products. The presence of silicon and germanium hydrides (CVD precursors) prepared by acid hydrolysis in the second step of the process was verified by Gas Chromatography–Mass Spectroscopy (GC/MS) and Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). The crude, unrefined mixture of silicon hydrides served as raw material for CVD experiment at different substrates. SEM images confirmed occurrence of various micro and nano particles which could be used in electronics, optics and catalysis. Pracoviště Ústav chemických procesů Kontakt Eva Jirsová, jirsova@icpf.cas.cz, Tel.: 220 390 227 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1