Počet záznamů: 1  

Investigation of the mechanical properties of thin films by bulge test

  1. 1.
    SYSNO ASEP0353858
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevInvestigation of the mechanical properties of thin films by bulge test
    Tvůrce(i) Hémel, A. (FR)
    Jacques, A. (FR)
    Schenk, T. (FR)
    Kruml, Tomáš (UFM-A) RID, ORCID
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.Solid State Phenomena - ISSN 1012-0394
    156-158, - (2010), s. 477-482
    Poč.str.6 s.
    AkceGADEST 2009
    Datum konání26.09.2009-2.10.2009
    Místo konáníBerlin
    ZeměDE - Německo
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CH - Švýcarsko
    Klíč. slovathin films ; mechanical properties ; bulge test
    Vědní obor RIVJJ - Ostatní materiály
    CEZAV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
    AnotaceA new bulge test device has been built, with the aim to perform mechanical tests on membranes with a thickness in the 100 nm to 10 µm range, between room temperature and 900°C. The first tests on Si3N4 and gold films give results consistent with literature data.
    PracovištěÚstav fyziky materiálu
    KontaktYvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.