Počet záznamů: 1
Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
- 1.
SYSNO ASEP 0335626 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Klapetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 6 Zdroj.dok. Fringe 2009 - 6th International Workshop on Advanced Optical Metrology. - Heidelberg : Springer, 2009 - ISBN 978-3-642-03050-5 Rozsah stran s. 405-410 Poč.str. 6 s. Akce Fringe 2009 - International Workshop on Advanced Optical Metrology /6./ Datum konání 13.09.2009-16.09.2009 Místo konání Nürtinger Země DE - Německo Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova laser interferometry ; Nd:YAG laser Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu 2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace Laser interferometry seems to be a solution not only due to its direct traceability to the fundamental etalon of length but also the incremental interferometer in its fringe counting mode gives an excellent dynamic range limited only by the fluctuations of the refractive index of air and offers nanometer or even subnanometer resolution over large range. We concentrated onto a small range flexture three-axis nanopositioning stage equipped with closed-loop motion control with capacitive sensors embedded in a frame with six-axes interferometric system supplied from a stabilized single-frequency frequency doubled 532 nm Nd:YAG laser. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1