Počet záznamů: 1
Comparative study of total power density at a substrate in pulsed DC magnetron and hollow-cathode plasma jet sputtering systems
- 1.
SYSNO ASEP 0335019 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Comparative study of total power density at a substrate in pulsed DC magnetron and hollow-cathode plasma jet sputtering systems Překlad názvu Porovnávací studie celkové výkonové hustoty na substrát v pulzním DC magnetronovém výboji a v plazma-jetu s dutou katodou Tvůrce(i) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Virostko, Petr (FZU-D)
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Plasma Processes and Polymers. - : Wiley - ISSN 1612-8850
Roč. 6, S1 (2009), S247-S252Poč.str. 6 s. Akce International Conference on Plasma Surface Engineering /11./ Datum konání 15.09.2008-19.09.2008 Místo konání Garmisch Partenkirchen Země DE - Německo Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova calorimeter probe ; floating substrate ; magnetron ; plasma jet ; pulsed discharge Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000272302900050 DOI 10.1002/ppap.200930611 Anotace The pulsed DC magnetron and hollow-cathode plasma jet sources have been studied from the point of view of total energy flux density at a ‘‘floating’’ substrate. Both plasma sources were operated under identical experimental conditions and differences between both systems were investigated. The aim of this work is focused on the characterization of total power density at electrically isolated substrate for various duty cycles and for different pulsing frequencies. A calorimeter probe with incorporated thermocouple junction was used for measurement of the total power density on the substrate. The main results from the calorimeter probe show clearly that total power density at the substrate is much higher for the planar magnetron operating at low duty cycle and high pulsing frequency than for the plasma jet. The total power density measured in the planar magnetron depends more strongly on the duty cycle and the pulsing frequency than measured in the plasma jet. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1