Počet záznamů: 1
Xenon capillary discharge as a source of soft X-ray
- 1.
SYSNO ASEP 0179037 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Xenon capillary discharge as a source of soft X-ray Tvůrce(i) Vrba, Pavel (UFP-V) RID
Vrbová, M. (CZ)Zdroj.dok. Czechoslovak Journal of Physics. - : Springer - ISSN 0011-4626
Roč. 52, supplement D (2002), s. 112-116Forma vydání CD-ROM - CD-ROM Akce Symposium on Plasma Physics and Technology/20th./ Datum konání 10.06.2002-13.06.2002 Místo konání Prague Země CZ - Česká republika Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova capillary discharge, soft X-ray Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEZ AV0Z2043910 - UFP-V Anotace A novel type of capillary discharge device was demonstrated to obtain soft X-ray emission compplying with the demand for the future micro lithography[1].Experiments with the Xenon filled capillary lead to generation of incoherent radiation in the spectral region (13ö14)nm.We have done a theoretical analysis of the experiment based on previous work[2]. Pracoviště Ústav fyziky plazmatu Kontakt Vladimíra Kebza, kebza@ipp.cas.cz, Tel.: 266 052 975 Rok sběru 2003
Počet záznamů: 1