Počet záznamů: 1
Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy
SYS 0478403 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103214539.9 100 $a 20170925d m y slo 03 ba 101 $a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy 210 $d 2017 541 $a Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer $z eng 610 $a e-beam lithography 610 $a PMMA rezist 610 $a thick layers 610 $a spin coating 700 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1