Počet záznamů: 1
Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
- 1.Lazar, J., Klapetek, P., Číp, O., Čížek, M., Hrabina, J., Šerý, M. Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry. In: Fringe 2009 - 6th International Workshop on Advanced Optical Metrology. Heidelberg: Springer, 2009, s. 405-410. ISBN 978-3-642-03050-5.
Počet záznamů: 1