Počet záznamů: 1

SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO	0483401
Název	SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu	SMV-2017-06: Development of test specimens for SEM
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	Brno: TESCAN, 2017
Druh dok.	Výzkumná zpráva
Grant	neveřejné zdroje
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0278733

Počet záznamů: 1