Počet záznamů: 1

SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO ASEP	0483401
Druh ASEP	V - Výzkumná zpráva
Zařazení RIV	V – výzkumná zpráva
Název	SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu	SMV-2017-06: Development of test specimens for SEM
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	8
Vyd. údaje	Brno: TESCAN, 2017
Poč.str.	6 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	relief structure ; e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
Obor OECD	Nano-processes (applications on nano-scale)
Další zdroj	neveřejné zdroje
Anotace	Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM).
Překlad anotace	Research and development in the field realization of precise relief structures in the silicon dedicated to the testing of the scanning electron microscopes (SEM) deflection field and accuracy.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2018

Počet záznamů: 1