Počet záznamů: 1
The effect of grain and pore sizes on the mechanical behavior of thin Al films deposited under different conditions
- 1.
SYSNO ASEP 0440919 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název The effect of grain and pore sizes on the mechanical behavior of thin Al films deposited under different conditions Tvůrce(i) Ben-David, E. (IL)
Landa, Michal (UT-L) RID
Janovská, Michaela (UT-L) RID, ORCID
Seiner, Hanuš (UT-L) RID, ORCID
Gutman, O. (IL)
Tepper-Faran, T. (IL)
Shilo, D. (IL)Zdroj.dok. Acta Materialia. - : Elsevier - ISSN 1359-6454
Roč. 87, April (2015), s. 321-331Poč.str. 11 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova thin films ; mechanical properties ; tensile tests ; bulge tests ; porosity Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Institucionální podpora UT-L - RVO:61388998 UT WOS 000350517700031 EID SCOPUS 84921975347 DOI 10.1016/j.actamat.2014.12.041 Anotace This paper presents a comprehensive study of the relationships between deposition conditions, microstructure and mechanical behavior in thin aluminum films commonly used in micro and nano-devices. A particular focus is placed on the effect of porosity, which is present in all thin films deposited by evaporation or sputtering techniques. Pracoviště Ústav termomechaniky Kontakt Marie Kajprová, kajprova@it.cas.cz, Tel.: 266 053 154 ; Jana Lahovská, jaja@it.cas.cz, Tel.: 266 053 823 Rok sběru 2016
Počet záznamů: 1