Počet záznamů: 1  

Boron electrical activation in dual B+N and B+Ar ion-implanted Si

  1. 1.
    ODZHAEV, V. B., POPOK, V. N., PROSOLOVICH, V. S., HNATOWICZ, V. Boron electrical activation in dual B+N and B+Ar ion-implanted Si. Applied Physics A - Materials Science & Processing. 1996, 62(-), 355-358. ISSN 0947-8396. E-ISSN 1432-0630.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.