Počet záznamů: 1
Optical Emission Spectroscopy of CN.sub.x./sub. Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System
- 1.
SYSNO ASEP 0181311 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Optical Emission Spectroscopy of CNx Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jelínek, Miroslav (FZU-D) RID, ORCID
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Zelinger, Zdeněk (UFCH-W) RID, ORCIDZdroj.dok. Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 46, 11/12 (2001), s. 371-373Poč.str. 2 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova optical emission spectroscopy ; pulsed laser deposition ; CNx plasma species Vědní obor RIV CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie CEP IAA1010110 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z4040901 - UFCH-W Anotace Thin CNx films were deposited by hybrid pulsed laser deposition system KrF excimer laser in combination with the additional radio-frequency discharge. Pracoviště Ústav fyzikální chemie J.Heyrovského Kontakt Michaela Knapová, michaela.knapova@jh-inst.cas.cz, Tel.: 266 053 196 Rok sběru 2002
Počet záznamů: 1