Počet záznamů: 1  

Optical Emission Spectroscopy of CN.sub.x./sub. Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System

  1. 1.
    0181311 - UFCH-W 20010234 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
    Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Zelinger, Zdeněk
    Optical Emission Spectroscopy of CNx Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.
    Jemná mechanika a optika. Roč. 46, 11/12 (2001), s. 371-373. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA AV ČR IAA1010110
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z4040901
    Klíčová slova: optical emission spectroscopy * pulsed laser deposition * CNx plasma species
    Kód oboru RIV: CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

    Thin CNx films were deposited by hybrid pulsed laser deposition system KrF excimer laser in combination with the additional radio-frequency discharge.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0077893

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.