Počet záznamů: 1
Optical Emission Spectroscopy of CN.sub.x./sub. Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System
- 1.0181311 - UFCH-W 20010234 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Zelinger, Zdeněk
Optical Emission Spectroscopy of CNx Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System.
Jemná mechanika a optika. Roč. 46, 11/12 (2001), s. 371-373. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA AV ČR IAA1010110
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z4040901
Klíčová slova: optical emission spectroscopy * pulsed laser deposition * CNx plasma species
Kód oboru RIV: CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
Thin CNx films were deposited by hybrid pulsed laser deposition system KrF excimer laser in combination with the additional radio-frequency discharge.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0077893
Počet záznamů: 1