The radio frequency hollow cathode discharge induced by the RF discharge in the plasma-jet chemical reactor

Počet záznamů: 1

SYSNO ASEP	0133852
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Ostatní články
Název	The radio frequency hollow cathode discharge induced by the RF discharge in the plasma-jet chemical reactor
Tvůrce(i)	Touš, Jan (FZU-D) Šícha, Miloš (FZU-D) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Soukup, Ladislav (FZU-D) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Tichý, M. (CZ)
Zdroj.dok.	Contributions to Plasma Physics. - : Wiley - ISSN 0863-1042 Roč. 42, č. 1 (2002), s. 119-131
Poč.str.	13 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	DE - Německo
Klíč. slova	hollow cathode discharge ; supersonic plasma jet ; sputtering
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	GA202/00/1592 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z1010914 - FZU-D
Anotace	The present paper deals with experimental study of this RF hollow cathode discharge. The stress is laid on the investigations of the axial distribution of discharge parameters and sputtering processes inside the nozzle.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2003

Počet záznamů: 1