0133852 - FZU-D 20020031 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
Touš, Jan - Šícha, Miloš - Hubička, Zdeněk - Soukup, Ladislav - Jastrabík, Lubomír - Čada, Martin - Tichý, M.
The radio frequency hollow cathode discharge induced by the RF discharge in the plasma-jet chemical reactor.
Contributions to Plasma Physics. Roč. 42, č. 1 (2002), s. 119-131. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
Grant CEP: GA ČR GA202/00/1592
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: hollow cathode discharge * supersonic plasma jet * sputtering
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 0.804, rok: 2002

The present paper deals with experimental study of this RF hollow cathode discharge. The stress is laid on the investigations of the axial distribution of discharge parameters and sputtering processes inside the nozzle.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0031806