Počet záznamů: 1
Problems of PLD hybrid technique for CN.sub.x./sub. films creation
- 1.
SYSNO ASEP 0133476 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Problems of PLD hybrid technique for CNx films creation Tvůrce(i) Jelínek, Miroslav (FZU-D) RID, ORCID ISBN 0-8197-4120-1 Zdroj.dok. Laser Physics and Applications. - Bellingham : SPIE, 2001 / Atanasov P. A. ; Cartaleva S. - ISSN 0277-786X Rozsah stran s. 285-289 Poč.str. 5 s. Akce International School on Quantum Electronics /11./ Datum konání 18.09.2000-22.09.2000 Místo konání Varna Země BG - Bulharsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova hybrid deposition ; carbon nitride ; radiofrequency discharge ; hollow cathode discharge Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEZ AV0Z1010914 - FZU-D Anotace Highly nitrogenated CNx films were created by pulsed laser deposition, combidned with radiogrequency and hallow cathode dicharges. The FR discharge was held between two electrodes situated parallel to plasm plume from a graphite target. In PLD combined with HC discharges an one of the RF electrodes was used to supply nitrogen on the substrate. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2002
Počet záznamů: 1