Počet záznamů: 1  

Problems of PLD hybrid technique for CN.sub.x./sub. films creation

  1. 1.
    0133476 - FZU-D 20010328 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Jelínek, Miroslav
    Problems of PLD hybrid technique for CNx films creation.
    0-8197-4120-1. In: Laser Physics and Applications. Bellingham: SPIE, 2001 - (Atanasov, P.; Cartaleva, S.), s. 285-289. Proceedings of SPIE., 4397. ISSN 0277-786X.
    [International School on Quantum Electronics /11./. Varna (BG), 18.09.2000-22.09.2000]
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: hybrid deposition * carbon nitride * radiofrequency discharge * hollow cathode discharge
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    Highly nitrogenated CNx films were created by pulsed laser deposition, combidned with radiogrequency and hallow cathode dicharges. The FR discharge was held between two electrodes situated parallel to plasm plume from a graphite target. In PLD combined with HC discharges an one of the RF electrodes was used to supply nitrogen on the substrate.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0031441

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.