Počet záznamů: 1
Laser deposition of CN.sub.x./sub. films combined with RF and hollow cathode discharges
- 1.0133326 - FZU-D 20010121 RIV MX eng J - Článek v odborném periodiku
Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Jastrabík, Lubomír - Soukup, Ladislav - Šimečková, Marta - Zelinger, Z.
Laser deposition of CNx films combined with RF and hollow cathode discharges.
Superficies y Vacio. Roč. 9, - (1999), s. 303-305
Výzkumný záměr: CEZ:A02/98:Z1-010-914
Klíčová slova: laser deposition * carbon nitride films * radiofrequency discharge * hollow cathode discharge * optical emission spectroscopy
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Pulsed laser deposition combined with additional RF and hollow cathode discharges for deposition of CNx films are studied.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0031302
Počet záznamů: 1