Počet záznamů: 1  

Laser deposition of CN.sub.x./sub. films combined with RF and hollow cathode discharges

  1. 1.
    0133326 - FZU-D 20010121 RIV MX eng J - Článek v odborném periodiku
    Jelínek, Miroslav - Lančok, Ján - Jastrabík, Lubomír - Soukup, Ladislav - Šimečková, Marta - Zelinger, Z.
    Laser deposition of CNx films combined with RF and hollow cathode discharges.
    Superficies y Vacio. Roč. 9, - (1999), s. 303-305
    Výzkumný záměr: CEZ:A02/98:Z1-010-914
    Klíčová slova: laser deposition * carbon nitride films * radiofrequency discharge * hollow cathode discharge * optical emission spectroscopy
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    Pulsed laser deposition combined with additional RF and hollow cathode discharges for deposition of CNx films are studied.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0031302

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.