Počet záznamů: 1
Energy-resolved mass spectrometry and Monte Carlo simulation of atomic transport in magnetron sputtering
- 1.
SYSNO 0132085 Název Energy-resolved mass spectrometry and Monte Carlo simulation of atomic transport in magnetron sputtering Tvůrce(i) Kadlec, Stanislav (FZU-D) ORCID
Quaeyhaegens, C. (BE)
Knuyt, G. (BE)
Stals, L. M. (BE)Zdroj.dok. Surface and Coatings Technology. Roč. 97, - (1997), s. 633-641. - : Elsevier Druh dok. Článek v odborném periodiku Jazyk dok. eng Země vyd. CH Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0030123
Počet záznamů: 1