Počet záznamů: 1
Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD
- 1.Vaněk, J., Čech, V., Přikryl, R., Zemek, J., Peřina, V. Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD. Czechoslovak Journal of Physics. 2004, 54(9), C937-942. ISSN 0011-4626.
Počet záznamů: 1