Počet záznamů: 1
Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD
- 1.Vaněk, J. - Čech, V. - Přikryl, R. - Zemek, Josef - Peřina, Vratislav
Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD.
Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 54, Suppl. C (2004), s. C937-C942. ISSN 0011-4626
Grant CEP: GA MŠMT ME 597; GA MŠMT OC 527.110; GA ČR GA104/03/0236
Impakt faktor: 0.292, rok: 2004
http://hdl.handle.net/11104/0000148
Počet záznamů: 1