Počet záznamů: 1  

Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD

  1. 1.
    Vaněk, J., Čech, V., Přikryl, R., Zemek, J., Peřina, V. Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD. Czechoslovak Journal of Physics. 2004, 54(Suppl. C), C937-C942. ISSN 0011-4626.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.