Počet záznamů: 1
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
- 1.
SYSNO ASEP 0100716 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source Překlad názvu Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje Tvůrce(i) Fiedorowicz, H. (PL)
Bartnik, A. (PL)
Bittner, Michal (FZU-D)
Juha, Libor (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Krása, Josef (FZU-D) RID, ORCID
Kubát, Pavel (UFCH-W) RID, ORCID, SAI
Mikolajczyk, J. (PL)
Rakowski, R. (PL)Zdroj.dok. Microelectronic Engineering. - : Elsevier - ISSN 0167-9317
73-74, - (2004), s. 336-339Poč.str. 4 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova microstructures ; photo-etching ; X-rays Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP KSK2043105 GA AV ČR - Akademie věd Anotace The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1