Počet záznamů: 1  

Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source

  1. 1.
    0100716 - FZU-D 20040439 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Fiedorowicz, H. - Bartnik, A. - Bittner, Michal - Juha, Libor - Krása, Josef - Kubát, Pavel - Mikolajczyk, J. - Rakowski, R.
    Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source.
    [Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje.]
    Microelectronic Engineering. 73-74, - (2004), s. 336-339. ISSN 0167-9317. E-ISSN 1873-5568
    Grant CEP: GA AV ČR KSK2043105
    Klíčová slova: microstructures * photo-etching * X-rays
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Impakt faktor: 1.514, rok: 2004

    The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers

    Bylo demonstrováno přímé mikrostrukturovaní organických polymerů rentgenovým zářením z laserového plazmatu v plynové trysce. Výsledky ukazují relativně vysokou účinnost ablace rentgenovým zářením a její použitelnost pro strukturování organických polymerů
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0008209

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.