Počet záznamů: 1
Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
- 1.
SYSNO ASEP 0053681 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge Překlad názvu Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody Tvůrce(i) Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Do, H.T. (DE)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hippler, R. (DE)
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Japanese Journal of Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0021-4922
Roč. 45, 10B (2006), s. 8090-8094Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. JP - Japonsko Klíč. slova laser absorption spectroscopy ; pulsed magnetron ; sputtering parameters Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP 1QS100100563 GA AV ČR - Akademie věd GA202/05/2242 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) AV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011) Anotace Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2007
Počet záznamů: 1