Počet záznamů: 1  

Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge

  1. 1. 0053681 - FZU-D 2007 RIV JP eng J - Článek v odborném periodiku
    Olejníček, Jiří - Do, H.T. - Hubička, Zdeněk - Hippler, R. - Jastrabík, Lubomír
    Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge.
    [Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody.]
    Japanese Journal of Applied Physics. Roč. 45, 10B (2006), s. 8090-8094. ISSN 0021-4922
    Grant CEP: GA AV ČR 1QS100100563; GA ČR GA202/05/2242
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521; CEZ:AV0Z10100520
    Klíčová slova: laser absorption spectroscopy * pulsed magnetron * sputtering parameters
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    Impakt faktor: 1.222, rok: 2006

    Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode

    Byla realizována laserová absorpční spektroskopie Al atomů pulsního magnetronového výboje v čistém argonu a v plynných směsích typu argon/kyslík a argon/metan .Časově průměrné hodnoty hustoty a teploty naprašovaných Al atomů byly získány z absorpčních měření. Měřená hodnota hustoty závisí lineárně na pulsním proudu a vykazuje malou závislost na tlaku.Kritický tok kyslíku je podstatně vyšší v pulsním módu ve srovnání s DC módem
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0141869