Počet záznamů: 1
Elektronová litografie pro nanotechnologie
- 1.
SYSNO 0026426 Název Elektronová litografie pro nanotechnologie Překlad názvu Electron beam lithography for nanotechnology Tvůrce(i) Výborný, Zdeněk (FZU-D) Zdroj.dok. Jemná mechanika a optika. Roč. 50, 11-12 (2005), s. 313-318. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Druh dok. Článek v odborném periodiku CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova lithography * photolithography * electron beam lithography * EBL * nanolithography * nanotechnology * SEM Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0116677
Počet záznamů: 1