Počet záznamů: 1
Elektronová litografie pro nanotechnologie
SYS 0026426 LBL 02324^^^^^2200301^^^450 005 20240103181249.2 100 $a 20060331d m y slo 03 ba 101 0-
$a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Elektronová litografie pro nanotechnologie 215 $a 6 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0290003 $1 011 $a 0447-6441 $1 200 1 $a Jemná mechanika a optika $v Roč. 50, 11-12 (2005), s. 313-318 $1 210 $c Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 541 1-
$a Electron beam lithography for nanotechnology $z eng 610 0-
$a lithography 610 0-
$a photolithography 610 0-
$a electron beam lithography 610 0-
$a EBL 610 0-
$a nanolithography 610 0-
$a nanotechnology 610 0-
$a SEM 700 -1
$3 cav_un_auth*0100616 $a Výborný $b Zdeněk $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1