Počet záznamů: 1
Design of Setup for Laser Induced Plasma Etching
SYS 0617414 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20250407170914.8 014 $a 85204066231 $2 SCOPUS 014 $a 001310530600005 $2 WOS 017 70
$a 10.1109/IVNC63480.2024.10652276 $2 DOI 100 $a 20250225d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a US 200 1-
$a Design of Setup for Laser Induced Plasma Etching 215 $a 2 s. $c P 225 1-
$a International Vacuum Nanoelectronics Conference 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0598174 $1 010 $a 979-8-3503-7977-8 $1 011 $a 2164-2370 $1 200 1 $a 2024 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2024 $v s. 44-45 $1 210 $a New York $c IEEE $d 2024 608 $a Proceedings Paper 610 $a vacuum chamber 610 $a plasma etching 610 $a femtosecond laser 610 $a micromachining 610 $a three-dimensional displays 610 $a lithography 610 $a electronics industry 610 $a surface emitting lasers 610 $a ignition 700 -1
$3 cav_un_auth*0369743 $a Šilhan $b Lukáš $p UPT-D $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $4 070 $z K $q Brno Univ Technol, Fac Mech Engn, Inst Physicial Engn, Brno, Czech Republic $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0397564 $a Novotný $b Jan $p UPT-D $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $4 070 $B ABE-8889-2021 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0411754 $a Plichta $b Tomáš $p UPT-D $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101567 $a Ježek $b Jan $p UPT-D $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0442689 $a Vaculík $b Ondřej $p UPT-D $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $4 070 $q Brno Univ Technol, Fac Mech Engn, Inst Physicial Engn, Brno, Czech Republic $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101627 $a Šerý $b Mojmír $p UPT-D $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 856 $u https://ieeexplore.ieee.org/document/10652276 $9 RIV
Počet záznamů: 1