Počet záznamů: 1
Selective ultrashort laser annealing of amorphous Ge/Si multilayer stacks
- 1.Bulgakova, N. M., Volodin, V.A., Cheng, Y., Levy, Y., Beránek, J., Nagisetty, S. S., Zukerstein, M., Popov, A. A., Bulgakov, A. Selective ultrashort laser annealing of amorphous Ge/Si multilayer stacks. In: EPJ Web of Conferences. Vol. 266. Les Ulis: EDP Science, 2022, č. článku 06012. E-ISSN 2100-014X. Dostupné z: doi: 10.1051/epjconf/202226606012.
Počet záznamů: 1