Počet záznamů: 1
Selective ultrashort laser annealing of amorphous Ge/Si multilayer stacks
- 1.BULGAKOVA, N. M., VOLODIN, V.A., CHENG, Y., LEVY, Y., BERÁNEK, J., NAGISETTY, S. S., ZUKERSTEIN, M., POPOV, A. A., BULGAKOV, A. Selective ultrashort laser annealing of amorphous Ge/Si multilayer stacks. In: EPJ Web of Conferences. Vol. 266. Les Ulis: EDP Science, 2022, č. článku 06012. E-ISSN 2100-014X. Dostupné z: doi: 10.1051/epjconf/202226606012.
Počet záznamů: 1