Laserový systém 267 nm

0579449 - ÚPT 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Hrabina, Jan - Pravdová, Lenka - Holá, Miroslava - Číp, Ondřej - Lazar, Josef
Laserový systém 267 nm.
[Laser system 267 nm.]
Interní kód: APL-2023-05 ; 2023
Technické parametry: Systém generuje kontinuální laserový svazek s vlnovou délkou 267 nm a výstupním optickým výkonem > 10 mW. Optický výstup ze systému je realizován ve volné optice. Spektrální šířka čáry výstupního svazku je < 100 kHz.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Jan Hrabina, Ph.D., shane@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) FW03010232
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: UV laser * frequency doubling * UV lithography
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)

Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 267 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z IR čerpacího optovláknového úzkopásmového laseru, optovláknového zesilovače, první jednotky pro násobení optického kmitočtu ve waveguide provedení a druhé jednotky pro optické násobení s optickým rezonátorem a integrovaným násobícím nelineárním krystalem. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 10 mW kontinuálního záření na vlnové délce 267 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 100 kHz.

The developed UV laser source with an output wavelength of 267 nm is intended as a radiation source for metrological quality control methods for optical fabrication of short wavelength lithography components. The source consists of an IR pumping narrowband optical fiber laser, an optical fiber amplifier, a first stage of optical frequency doubling unit (waveguide design), and a second optical doubling stage with an optical resonator and an integrated nonlinear crystal. The coherent source achieves an output optical power of > 10 mW of continuous radiation at 267 nm wavelength, and the spectral linewidth of the laser is < 100 kHz.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0348449