Počet záznamů: 1
Floating Power Supply for Specimen Bias in Scanning Electron Microscope
- 1.0325106 - ÚPT 2009 CZ eng A - Abstrakt
Horáček, Miroslav - Zobač, Martin - Vlček, Ivan
Floating Power Supply for Specimen Bias in Scanning Electron Microscope.
[Plovoucí zdroj pro předpětí vzorku v REM.]
Mikroskopia 2009. Brno: Tribun EU, 2009. s. 24. ISBN 978-80-7399-739-7.
[Mikroskopia 2009. 25.03.2009-26.03.2009, Stará Lesná]
Grant CEP: GA AV ČR IAA100650803
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: floating power supply * scanning electron microscope
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
The retarding potential between the specimen and an anode, a cathode lens, is already commonly used for high resolution imaging at very low electron beam energies even below 10 eV in a SEM. The high voltage power supply for the specimen offset should be designed as a floating power supply connected to the high voltage level of the supply for the electron gun.
Uspořádání s brzdícím potenciálem mezi vzorkem a anodou, tzv. katodová čočka, je běžně používáno pro zobrazení v REM. Vysokonapěťový zdroj pro předpětí vzorku by měl být konstruován jako plovoucí opřený o potenciál zdroje pro katodu.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0172632
Počet záznamů: 1