Počet záznamů: 1  

Investigation of RF and DC plasma jet system during deposition of highly oriented ZnO thin films

  1. 1.
    0134425 - FZU-D 20030325 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Adámek, P. - Ptáček, Pavel - Šíchová, Hana - Šícha, Miloš - Jastrabík, Lubomír
    Investigation of RF and DC plasma jet system during deposition of highly oriented ZnO thin films.
    Surface and Coatings Technology. 174-175, - (2003), s. 627-631. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347
    Grant CEP: GA ČR GP202/02/P021; GA ČR GA202/00/1592; GA MŠMT LN00A015; GA MŠMT ME 441
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: plasma jet * ZnO thin films * Langmuir probe
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.410, rok: 2003

    RF and DC plasma jet sputtering systems were investigated as sources for deposition of ZnO thin films. Deposited zone films have a strong orientation of hexagonal crystallites with "c" axis perpendicular to the substrate surface. Temperature of the substrate did not exceed 150 o C during the deposition. Langmuir probe measurement performed at the substrate revealed two groups of electrons with different temperatures in the DC plasma jet.

    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032328

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.