Počet záznamů: 1  

Microwave plasma chemical vapour deposition of nanocrystalline diamond films

  1. 1.
    0134355 - FZU-D 20030253 RIV IT eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Popov, C. - Jelínek, Miroslav - Bulíř, Jiří - Kulich, W.
    Microwave plasma chemical vapour deposition of nanocrystalline diamond films.
    Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry /16./. Roma: xx, 2003, s. ISPC-014-1 - ISPC-014-5.
    [International Symposium on Plasma Chemistry /16./. Taormina (IT), 22.06.2003-27.06.2003]
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: nanocrystalline diamond films * microwave plasma chemical vapour deposition
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    Nanocrystalline diamond films have been prepared by microwave plasma chemical vapour deposition from methan/nitrogen mixtures and the influence of the gas phase composition on the properties of the deposited films was investigated.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032260

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.