Počet záznamů: 1  

An ellipsometric study of W thin films deposited on Si

  1. 1.
    0132806 - FZU-D 20000058 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Deineka, Alexander - Tarasenko, A. A. - Jastrabík, Lubomír - Chvostová, Dagmar - Boušek, Jaroslav
    An ellipsometric study of W thin films deposited on Si.
    Thin Solid Films. Roč. 339, - (1999), s. 216-219. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
    Grant CEP: GA AV ČR IAA2010536
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 1.101, rok: 1999

    The results of spectral and angle-dependent ellipsometric measurements of r.f. magnetron-sputtered very thin tungsten films (2/8nm) deposited onto {100} oriented silicon substrates have been reported.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0030805

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.