Počet záznamů: 1
Thin silicon films deposited at low substrate temperatures studied by surface photovoltage technique
- 1.0100334 - FZU-D 20040269 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
Luterová, Kateřina - Švrček, Vladimír - Mates, Tomáš - Ledinský, Martin - Ito, M. - Fejfar, Antonín - Kočka, Jan
Thin silicon films deposited at low substrate temperatures studied by surface photovoltage technique.
[Tenké křemíkové vrstvy napařené při nízkých teplotách substrátu studované metodou povrchového fotonapětí.]
Thin Solid Films. 451-452, - (2004), s. 408-412. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731
Grant CEP: GA ČR GP202/01/D030; GA ČR GA202/03/0789; GA AV ČR IAA1010316; GA AV ČR IAB2949101; GA MŠMT ME 537
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: micro-crystalline Si * low-temperature deposition * surface photovoltage
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Impakt faktor: 1.647, rok: 2004
The application of the SPV technique revealed new phenomena of low-temperature .mu.c-Si:H growth (e.g. formation of a bottom barrier for deposition temperatures below 100oC, presence of a defective layer for deposition temperatures 75-200oC) without performing any additional mesurements
Užití metody SPV odhalilo nové charakteristiky nízkoteplotního růstu mikrokrystalického křemíku, jako např. vytvoření spodní bariéry při teplotách depozice pod 100oC, přítomností defektní vrstvy pro teploty depozice 75-200oC bez provádění jakýchkoli dalších měření
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0007837
Počet záznamů: 1