What can we see at very low energies in the Scanning Electron Microscope?

0022405 - ÚPT 2006 RIV CH eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Müllerová, Ilona
What can we see at very low energies in the Scanning Electron Microscope?
[Co můžeme vidět v rastrovacím elektronovém mikroskopu na velmi nízkých energiích?]
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./. Villigen: Paul Scherrer Institute, 2005, s. 51. ISBN N. ISSN 1019-6447.
[Dreiländertagung Microscopy Conference (MC 2005). Davos (CH), 28.08.2005-02.09.2005]
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA102/05/2327
Klíčová slova: low energy electrons * detection system * scanning elektron microscope
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

The Scanning Electron Microscope (SEM) is a widely used instrument, which is normally optimised to primary beam energy of about 15 keV, in contrast to the Low Energy Electron Microscope (LEEM) operated below 50 eV. There are great differences between these instruments, both in their illumination and detection parts. Nevertheless, contrast types can be expected in SEM similar to those observed in LEEM when the cathode lens (CL) principle, inherent to LEEM, is incorporated into the SEM. To detect all emitted electrons, auxiliary fields have to be used to divert the signal beam (accelerated to nearly the same energy as the primary electrons) from the optical axis. In our simple detection system the anode of the CL is formed by a YAG crystal with a tiny central opening, so that the slowest signal electrons can escape through the bore, but a small specimen tilt can secure acquisition even of specularly reflected slowest electrons.

Rastrovací Elektronový Mikroskop (REM) je široce užívané zařízení, které je obvykle optimalizované pro energii primárních elektronů okolo 15 keV, na rozdíl od nízkoenergiového nerastrovacího elektronového mikroskopu (LEEM), který pracuje na energiích pod 50 eV. Mezi oběma přístroji jsou značné rozdíly jak v osvětlovací, tak i detekční části. Nicméně použijeme-li v REM katodovou čočku, tak jak je tomu v zařízení typu LEEM, můžeme očekávat podobné kontrasty. Abychom detekovali všechny emitované elektrony, které jsou urychleny téměř na stejnou energii, jakou mají primární elektrony, musíme pro odchýlení signálních elektronů od optické osy použít pomocné pole. V našem jednoduchém detekčním systému je anoda katodové čočky tvořená YAG krystalem s malým středním otvorem, takže nejpomalejší signální elektrony mohou tímto otvorem unikat; nicméně malý náklon vzorku může umožnit detekci i zrcadlově odraženého nejpomalejšího elektronu.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111145