Počet záznamů: 1

SiC.sub.x./sub. layers prepared by hybrid laser deposition and PLD

  1. 1.
    0335778 - FZU-D 2010 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
    Jelínek, Miroslav - Kocourek, Tomáš - Zemek, Josef - Kadlec, J.
    SiCx layers prepared by hybrid laser deposition and PLD.
    [Vrstvy SiCx připravené hybridní a pulsní laserovou deposicí.]
    Plasma Processes and Polymers. Roč. 6, S1 (2009), s. 5366-5369 ISSN 1612-8850
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
    Klíčová slova: SiC * composites * hybrid deposition * puls laser deposition * magnetron
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Impakt faktor: 4.037, rok: 2009

    Thin SiCx films were fabricated using hybrid laser-magnetron deposition system and pulsed laser deposition (PLD). Film topology, crystallinity, composition and chemical bonds were studied.

    Tenké vrstvy SiCx byly připraveny hybridní laserovou/magnetronovou deposicí a pulsní laserovou deposicí. Byla studována topologie, struktura, složení a chemické vazby připravených vrstev.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180149