Výsledky vyhledávání
- 1.0350664 - ÚPT 2011 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Mika, Filip - Hovorka, Miloš - Frank, Luděk
Imaging of dopants under presence of surface ad-layers.
Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 35-36. ISBN 978-80-254-6842-5.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]
Grant CEP: GA ČR GP102/09/P543
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: scanning electron microscopy * semiconductor structures * image contrast * dopant concentration * secondary electron emission
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://arl-repository.lib.cas.cz/uloziste_av/UPT-D/cav_un_epca-0350664_01.pdf
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0190604 - 2.0022834 - ÚPT 2006 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Wandrol, Petr - Matějková, Jiřina - Autrata, Rudolf
Observation of Multilayer Semiconductor Structures in the Scanning Electron Microscope.
[Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu.]
Proceedings EDS'05 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2005. Brno: Vysoké učení technické v Brně, 2005, s. 248-250. ISBN 80-214-2990-9.
[Electronic Devices and Systems EDS'05. Brno (CZ), 15.09.2005-16.09.2005]
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB200650501
Klíčová slova: scanning electron microscope * multilayer semiconductor structures * detection
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111544 - 3.0022412 - ÚPT 2006 RIV CH eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Wandrol, Petr - Matějková, Jiřina - Autrata, Rudolf
SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes.
[Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v SEM pomocí různých detekčních modů.]
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./. Villigen: Paul Scherrer Institute, 2005, s. 339. ISBN N. ISSN 1019-6447.
[Dreiländertagung Microscopy Conference (MC 2005). Davos (CH), 28.08.2005-02.09.2005]
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA102/05/0886
Klíčová slova: semiconductor structures * imaging * detection modes
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111152