Výsledky vyhledávání
- 1.0582474 - ÚFP 2024 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Akhmetov, F. - Milov, I. - Semin, S. - Formisano, F. - Medvedev, Nikita - Sturm, J.M. - Zhakhovsky, V.V. - Makhotkin, I.A. - Kimel, A. - Ackermann, M.
Laser-induced electron dynamics and surface modification in ruthenium thin films.
Vacuum. Roč. 212, June (2023), č. článku 112045. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LM2018114; GA MŠMT LTT17015; GA MŠMT EF16_013/0001552
Grant ostatní: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy - GA MŠk(CZ) LM2018140
Institucionální podpora: RVO:61389021
Klíčová slova: Femtosecond laser damage * Fermi smearing * Pump-probe thermoreflectance * Ruthenium * Thin films * Two-temperature molecular dynamics
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 4, rok: 2022
Způsob publikování: Open access
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X23002427?via%3Dihub
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0350538 - 2.0573816 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 515 nm.]
Interní kód: TM01000021-V5 ; 2022
Technické parametry: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 8 Jcm-2 na vlnové délce 515 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344172 - 3.0573812 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 1030 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 1030 nm.]
Interní kód: TM01000021-V4 ; 2022
Technické parametry: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 6 Jcm-2 na vlnové délce 1030 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344170 - 4.0573808 - FZÚ 2024 RIV CZ cze Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda/plemeno
Vanda, Jan - Stoklasa, B. - Ahn, S. - Ryu, S.G.
Technologie multi-beam B-TGV.
[Multi-beam B-TGV technology.]
Interní kód: TM01000021-V1 ; 2022
Technické parametry: Popisovanou technologii tvoří následující sled procesních kroků: Ozáření skleněného vzorku jedním krátkým pulsem o vysoké energii na vlnové délce 1030 nm nebo 515 nm, nad prahovou hodnotou procesu daného materiálu. Využití mnohasvazkové procesní optiky pro dosažení požadované procesní rychlosti a optimálního tvaru a rozložení laserových svazků. Synchronizace pulsů laseru s pohybem substrátu ve vysoké rychlosti podle opakovací frekvence laseru. Leptání (wet etching) modifikovaných skleněných vzorků k vytvoření TGV (Thru Glass Vias).
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344167 - 5.0572145 - FZÚ 2024 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Akhmetov, F. - Milov, I. - Semin, S. - Formisano, F. - Medvedev, Nikita - Sturm, J.M. - Zhakhovsky, V.V. - Makhotkin, I.A. - Kimel, A. - Ackermann, M.
Laser-induced electron dynamics and surface modification in ruthenium thin films.
Vacuum. Roč. 212, June (2023), č. článku 112045. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
Grant CEP: GA MŠMT LTT17015; GA MŠMT(CZ) LM2018114; GA MŠMT EF16_027/0008215
Výzkumná infrastruktura: e-INFRA CZ - 90140
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: femtosecond laser damage * thin films * Ruthenium * two-temperature molecular dynamics * Fermi smearing * pump-probe thermoreflectance
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 4, rok: 2022
Způsob publikování: Open access
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0350362Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0572145.pdf 0 3.2 MB CC Licence Vydavatelský postprint povolen - 6.0568504 - FZÚ 2023 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George - Čech, Pavel - Mydlář, Martin - Pilná, Kateřina - Smrž, Martin - Chyla, Michal - Mužík, Jiří - Štěpánková, Denisa - Brajer, Jan - Mocek, Tomáš - Stoklasa, B. - Venos, Š. - Kuchařík, J.
Qualification of 1030 nm ultra-short-pulsed laser for glass sheet treatment in TGV process.
Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVII. Bellingham: SPIE, 2022 - (Qiao, J.; Narazaki, A.; Gemini, L.), č. článku 1198804. 11988. ISBN 978-1-5106-4848-7. ISSN 0277-786X.
[SPIE LASE. San Francisco (US), 22.01.2022-28.02.2022]
Grant CEP: GA MŠMT EF15_006/0000674; GA MŠMT LO1602; GA MŠMT LM2015086; GA TA ČR TM01000021
GRANT EU: European Commission(XE) 739573 - HiLASE CoE
Grant ostatní: OP VVV - HiLASE-CoE(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: glasses * pulsed laser operation * etching * laser damage threshold * laser development * laser processing
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11988/2610143/Qualification-of-1030-nm-ultra-short-pulsed-laser-for-glass/10.1117/12.2610143.short?SSO=1
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0339816 - 7.0542382 - FZÚ 2022 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Uxa, Š. - Škoda, V. - Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George
A comparison of LIDT behavior of AR-coated yttrium-aluminium-garnet substrates with respect to thin-film design and coating technology.
Laser-Induced Damage in Optical Materials. Bellingham: SPIE, 2018 - (Carr, C.; Exarhos, G.; Soileau, M.), č. článku 108051R. Proceedings of SPIE, 10805. ISBN 978-1-510-62194-7. ISSN 0277-786X.
[Annual Laser Damage Symposium /50./. Boulder (US), 23.09.2018-26.09.2018]
Grant CEP: GA TA ČR TH02010579
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: coating * polishing * YAG lasers * thin films * laser damage threshold * thin film coatings * ntireflective coatings
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10805/2500189/A-comparison-of-LIDT-behavior-of-AR-coated-yttrium-aluminium/10.1117/12.2500189.short
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0319805 - 8.0542121 - FZÚ 2022 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George - Bílek, Vojtěch - Šebek, Matěj - Hanuš, Martin - Lucianetti, Antonio - Rostohar, Danijela - Mocek, Tomáš - Škoda, V.
Multiple pulse nanosecond laser induced damage threshold on hybrid mirrors.
Laser-Induced Damage in Optical Materials. Bellingham: SPIE, 2017 - (Exarhos, G.; Gruzdev, V.; Menapace, J.), č. článku 104471A. Proceedings of SPIE, 10447. ISBN 978-1-5106-1363-8. ISSN 0277-786X.
[Annual Laser Damage Symposium /49./. Boulder (US), 24.09.2017-27.09.2017]
Grant CEP: GA MŠMT EF15_006/0000674; GA MŠMT LO1602; GA MŠMT LM2015086
GRANT EU: European Commission(XE) 739573 - HiLASE CoE
Grant ostatní: OP VVV - HiLASE-CoE(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: mirrors * laser damage threshold * silver * laser induced damage * Mid-IR * reflectivity * wavelength tuning
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10447/2280561/Multiple-pulse-nanosecond-laser-induced-damage-threshold-on-hybrid-mirrors/10.1117/12.2280561.short
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0319605 - 9.0542120 - FZÚ 2022 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George - Bílek, Vojtěch - Šebek, Matěj - Hanuš, Martin - Lucianetti, Antonio - Rostohar, Danijela - Mocek, Tomáš
Laser induced damage threshold of optical fibers under ns pulses.
Laser Induced Damage in Optical Materials. Bellingham: SPIE, 2016 - (Exarhos, G.; Gruzdev, V.; Menapace, J.), č. článku 100140T. Proceedings of SPIE, 10014. ISBN 978-1-5106-0437-7. ISSN 0277-786X.
[Annual Laser Damage Symposium /48./. Boulder (US), 25.09.2016-28.09.2016]
Grant CEP: GA MŠMT LO1602; GA MŠMT LM2015086
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: optical fibers * silica * laser damage threshold * polishing * laser applications * mirrors * laser induced damage
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10014/100140T/Laser-induced-damage-threshold-of-optical-fibers-under-ns-pulses/10.1117/12.2245040.short?SSO=1
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0319604 - 10.0542064 - FZÚ 2022 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Vanda, Jan - Muresan, Mihai-George - Čech, Pavel - Hanuš, Martin - Lucianetti, Antonio - Rostohar, Danijela - Mocek, Tomáš - Uxa, Š. - Škoda, V.
Multiple pulse nanosecond laser induced damage threshold on AR coated YAG crystals.
Laser-Induced Damage in Optical Materials. Bellingham: SPIE, 2018 - (Carr, C.; Exarhos, G.; Soileau, M.), č. článku 108050F. Proceedings of SPIE, 10805. ISBN 978-1-510-62194-7. ISSN 0277-786X.
[Annual Laser Damage Symposium /50./. Boulder (US), 23.09.2018-26.09.2018]
Grant CEP: GA MŠMT EF15_006/0000674; GA MŠMT LO1602; GA MŠMT LM2015086; GA TA ČR TH02010579
GRANT EU: European Commission(XE) 739573 - HiLASE CoE
Grant ostatní: OP VVV - HiLASE-CoE(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: YAG lasers * crystals * coatings * laser crystals * laser damage threshold * laser induced damage * thin films
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10805/2500197/Multiple-pulse-nanosecond-laser-induced-damage-threshold-on-AR-coated/10.1117/12.2500197.short?SSO=1
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0319558