Výsledky vyhledávání
- 1.0460202 - ÚPT 2017 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Bok, Jan
Large-area gray-scale structures in e-beam writer versus area current homogeneity and deflection uniformity.
Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016 - (Mika, F.), s. 26-27. ISBN 978-80-87441-17-6.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./. Skalský dvůr (CZ), 29.05.2016-03.06.2016]
Grant CEP: GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam writer * Gaussian e-beam writing system
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://www.trends.isibrno.cz/
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0260334 - 2.0352423 - ÚPT 2011 RIV BR eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Matějka, František - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Král, Stanislav
Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter.
Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. Rio de Janeiro: Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010, I1.12: 1-2. ISBN 978-85-63273-06-2.
[International Microscopy Congress (IMC17) /17./. Rio de Janeiro (BR), 19.09.2010-24.09.2010]
Grant CEP: GA AV ČR IAA100650803; GA MPO FR-TI1/576; GA MŠMT ED0017/01/01
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: e-beam writing system * rectangular-shaped electron beam * point projection
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0191931 - 3.0350657 - ÚPT 2011 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Matějka, František - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Král, Stanislav
Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter.
Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 13-14. ISBN 978-80-254-6842-5.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]
Grant CEP: GA AV ČR IAA100650803; GA MPO FR-TI1/576; GA MŠMT ED0017/01/01
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: Schottky electron emitter * e-beam writing system * point projection
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://arl-repository.lib.cas.cz/uloziste_av/UPT-D/cav_un_epca-0350657_01.pdf
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0190597 - 4.0314356 - ÚPT 2009 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Kolařík, Vladimír - Matějka, František - Lencová, Bohumila - Kokrhel, Svatopluk - Horáček, Miroslav - Radlička, Tomáš - Urbánek, Michal - Daněk, Lukáš
Zápis tvarovaným elektronovým svazkem.
[Writing System with Shaped Electron Beam.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: e-beam writing system * shaped electron beam * electron optics column * electron scattering * writing speed
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0164886 - 5.0092589 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Matějka, František - Horáček, Miroslav - Lencová, Bohumila - Kolařík, Vladimír
Reducing the Size of a Rectangular-Shaped Electron Beam in E-Beam Writing System.
[Zmenšení rozměru pravoúhlého elektronového svazku v elektronovém litografu.]
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy. Prague: Czechoslovak Microscopy Society, 2007 - (Nebesářová, J.; Hozák, P.), s. 87-88. ISBN 978-80-239-9397-4.
[Multinational Congress on Microscopy /8./. Prague (CZ), 17.06.2007-21.06.2007]
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: rectangular-shaped electron beam * e-beam writing system.
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0152867