Výsledky vyhledávání
- 1.0567159 - FZÚ 2023 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Schulze, Ch. - Li, H. - Mohn, L. - Müller, Martin - Benedikt, J.
Chamber with inverted electrode geometry for measuring and control of ion flux-energy distribution functions.
Plasma. Roč. 5, č. 3 (2022), s. 295-305. E-ISSN 2571-6182
Výzkumná infrastruktura: CzechNanoLab - 90110
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: capacitively coupled plasma * inductively coupled plasma * rf bias * ion energy distribution * energy-selective mass spectrometry
Obor OECD: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Způsob publikování: Open access
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0338436Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0567159.pdf 0 3.6 MB CC Licence Vydavatelský postprint povolen - 2.0432632 - FZÚ 2015 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Domonkos, Mária - Ižák, Tibor - Babchenko, Oleg - Varga, Marián - Hruška, Karel - Kromka, Alexander
Mask-free surface structuring of micro- and nanocrystalline diamond films by reactive ion plasma etching.
Advanced Science, Engineering and Medicine. Roč. 6, č. 7 (2014), s. 780-784. ISSN 2164-6627
Grant CEP: GA ČR GAP108/12/0910; GA ČR GAP108/12/0996; GA MPO FR-TI2/736
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: micro- and nanocrystalline diamond * capacitively coupled plasma * reactive ion etching * nanostructuring * scanning electron microscopy
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0237011 - 3.0359628 - FZÚ 2012 CZ eng A - Abstrakt
Ižák, Tibor - Kromka, Alexander - Babchenko, Oleg - Ledinský, Martin - Hruška, Karel - Verveniotis, Elisseos
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films in different plasma systems.
13th Joint Vacuum Conference - Programme and book of abstract. Brno: Tribun EU s.r.o., 2010 - (Vesely, M.; Vincze, A.; Vavra, I.). s. 73. ISBN 978-80-7399-969-8.
[Joint Vacuum Conference /13./. 20.06.2010-24.06.2010, Strbske Pleso]
Grant CEP: GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR(CZ) IAAX00100902; GA MŠMT LC510; GA AV ČR(CZ) KAN400480701; GA AV ČR KAN400100652
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: polycrystalline diamond * capacitively coupled plasma * reactive ion etching * nanostructuring
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0197378