Výsledky vyhledávání
- 1.0517476 - FZÚ 2020 RIV US eng M - Část monografie knihy
Pokorný, Petr - Novotný, Michal
Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases.
Horizons in World Physics. New York: Nova Science Publishers Inc, 2019 - (Reimer, A.), s. 56-116. 297. ISBN 978-1-53614-712-4
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1409; GA ČR GA16-22092S; GA ČR GA18-17834S; GA ČR GA18-09347S
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: magnetron sputtering * noble gases * discharge * radicals * ions * contamination * mass spectrometry
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://novapublishers.com/shop/horizons-in-world-physics-volume-297/
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302782